OPI-175 EL TEST SYSTEM
LED epi wafer의 전기적, 광학적 특성을 동시에 측정하는 장비
- LED epi의 EL 특성 측정
- ㆍLED epi wafer의 Electroluminescence(전계발광) 특성을측정
- ㆍGlass를 이용하여 wafer 상/하 발광을 측정
- ㆍ상부와 하부에 측정용 센서가 있음
- ㆍ노브를 이용하여 wafer를 xyz방향으로 쉽게 이동 및 접촉
- ㆍ작업의 편의성 및 생산성 최대한 고려
- ㆍ광헤드는 2인치 적분구를 사용하여 정확한 수광능력
- ㆍ광파워미터와 분광기를 동시에 사용하여 측정 정밀도 향상
- ㆍ사용자의 편의성이 최대한 고려된 소프트웨어 환경 제공
- 광학적, 전기적 특성을 통합 측정
- ㆍ광특성 측정 항목
- - 분광특성: 최고파장, 주파장, 중간파장, 중심파장, 반측폭, 색좌표, 색순도, 색온도, 연색지수 등
- - 광량특성: 광도, 복사도 등 ㆍ전기특성 측정 항목- 순방향 전류, 순방향 전압, 역방향 전류, 역방향 전압 등
- ㆍ스윕 측정 항목
- - 전류-전압, 전압-전류, 전류-광특성
- ㆍ고감도, 고분해능 분광기를 이용한 분광특성 측정
- ㆍ적분구형 입력광학계를 이용하고 분광기를 이용하여 PD를실시간 색보정함으로 정확하고 안정적인 광파워 측정
- ㆍ고속, 고정밀 소스미터를 이용한 전기특성 측정
- ㆍ전류인가 및 측정은 1A까지 가능
- 품질관리, 연구개발 용도로 최적
- ㆍ전류-전압, 전압-전류, 전류-광 Sweep 측정
- ㆍ다양한 분광영역(UV, UV-VIS, VIS, VIS-IR) 선택
- ㆍKeithley2400 Sourcemeter를 이용한 다양한 전원(전압,전류) 인가 및 측정범위 선택 가능
- ㆍ사용자 요구사항에 맞는 특별한 기능 추가 가능(선택사항)
- 편리한 사용자 환경
- ㆍ측정 결과를 직관적으로 인식- 측정 스펙트럼, 색좌표, 누적 스펙트럼,
- ㆍ 측정결과 리스트 등을 표시, 측정항목별 누적 그래프 표시, 맵핑 표시
- ㆍ다양한 조건 설정 - 광 및 전기 특성 항목을 사용자가 선택, 스윕 측정 설정
- ㆍ등급 설정 기능
- ㆍ상부/하부 센서 측정값 개별 저장 및 Total 값 저장
- ㆍ측정데이터는 각 측정 광특성/전기특성의 변화를 직관적으로 알 수 있도록 저장(CSV파일)
- ㆍ측정조건의 관리는 Project 파일로 저장 및 불러오기
- 정확하고 안정적인 측정
- ㆍ국제조명위원회(CIE) 및 KS 규격 측정 모드
- ㆍ한국표준과학연구원 상대분광시감효율 인증된 PD 사용
- ㆍ한국표준과학연구원에 소급된 표준램프 및 LED로 교정
- ㆍ한국표준과학연구원(KRISS) 교정인증대행 (선택사항)
- 기술지원 및 사후관리
- ㆍ사용자 중심의 셋업 및 사용설명
- ㆍ사용자 요구사항에 맞도록 소프트웨어 개발
- ㆍLED표준화 컨소시엄 및 국제조명위원회, 광도측정클럽 활동을 통해 새로운 측정지식 및 정보제공 서비스
- ㆍ신속한 A/S 가능 ㆍ다양한 형태의 샘플을 측정하기 위한 지그를 신속히 지원
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| Voltage Range |
±1㎶ ~ ±205V |
| Current Range |
±100pA to ±1.0A |
| Probe Station |
150mm Glass Plate
X-Y Movement : 50 X 50mm Travel |
| PD Temperature |
20℃ to 30℃ 중 선택, 고정 |
Spectrometer
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350 to 830nm, 2048 CCD array type |
| Optical Head |
50mm Integrating Sphere |
| Photodiode |
380 to 950nm, 10㎟ Area |
